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裝修指導DYNAMIC NEWS----潔凈室系統設計摘要

  潔凈室(Clean Room) 潔凈室是半導體晶圓廠的心臟,所有晶圓的生產在其間完成,潔凈室由兩大部份組成一為潔凈環境供應系統,一為高潔凈度內裝系統。

   1.潔凈環境供應系統 此系統供應潔凈室所需的無塵潔凈空氣,并精確控制其微塵,靜壓,溫度與相對濕度,由于潔凈室為一很大的開放空間(Ball Room),其中又放有許多的生產設備,因此要將整個潔凈室控制在非常高等級,非常穩定的環境之下供應生產,需要很高的技術層次才能做到。

    潔凈環境供應系統可分為下列三大子系統:

  1.1補充空氣系統(Make Up Air, MUA) 補充潔凈室內因制程所需抽排掉及自然外泄的空氣,同時調節潔凈室內的靜壓,并做第一階段的空氣濾凈,調溫與調濕。

  1.2循環空氣系統(ReCirculation Air, RCA) 將潔凈室內之空氣不斷循環濾凈,以保持空氣潔凈品質并做第二階段的溫度調節。

  1.3廢氣排放系統(Exhaust System) 將生產過程中產生的有害有毒廢氣經由抽氣除毒裝置將廢氣凈化后排到大氣、廢氣排放系統又可分為下列四大系統: 1) 一般廢氣:廢熱、機器外罩等無毒的廢氣排放 2) 廢溶劑:揮發性的廢溶劑經由活性碳吸附或高溫燃燒處理后排放 3) 酸廢氣:帶酸性的廢氣經由堿性濕式洗滌塔中和處理后排放 4) 堿廢氣:帶堿性的廢氣經由酸性濕式洗滌塔中和處理后排放

  2.高潔凈度內裝系統 由于潔凈室對微塵的要求非常嚴苛,因此任何在潔凈室內的內裝材料必須是不會產生微塵的材質,又因為潔凈室內相對濕度較低容易產生靜電累積微塵,因此所有材料亦需要導電材質以避免靜電的累積,

  高潔凈度內裝系統包含三大主要部份:

    2.1濾網天花 由超潔凈空氣濾清網所構成,為潔凈室微塵控制最主要的一道防線

    2.2導電隔間 隔離所有生產微塵的來源,如外墻,設備維修區,并導掉累積微塵的靜電   

    2.3導電高架地板 由穿孔與不穿孔的地板組成,主要作用在于形成潔凈室氣流的模式以避免擾流發生。

 

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